余志平 ，1967 年本科畢業于清華大學無線電電子學系 （1962 年入學），為清華大學微電子學研究所（簡稱微電子所）教授、博士生導師。杭州電子科技大學特聘教授。

1979 年由清華大學與教育部派送去美國斯坦福（Stanford）大學攻讀研究生學位。于 1980 與1985 年分別獲得斯坦福大學電機工程系碩士、博士學位。1986 年返清華任教，之后長期在清華與斯坦福兩校從事教學與科研工作。在微電子所先后擔任過 CAD 室室主任與微電子所副所長 （1997－2007），現為美國半導體設備制造公司Novellus 在清華微電子所設立的Novellus 微電子學教授，斯坦福大學訪問教授，IEEE（國際電機電子工程師協會）Fellow。

余志平的專業領域是集成電路計算機輔助設計（ICCAD），其在半導體器件模擬與建模的研究工作與成果為世界范圍內同行所熟知與認可。已發表學術論文300 余篇，合著英、中文專著各一本。七五計劃期間（1986-1990）參與組織的熊貓集成電路設計系統獲 1993 年國家科技進步一等獎。

余志平擔任過的與專業有關的社會工作包括：IEEE Transactions on IC CAD 雜志副主編 （1996－2005 ），國務院學位委員會第五屆學科評議組 （電子科學與技術）成員（2003－2008 ），清華大學第一屆教授提名委員會信息學科委員（2003－2008），韓國政府ETRI(電子通信研究院）顧問委員會成員（2006－2008）及IEEE Fellow 提名委員會成員 （2009）。他目前是清華國際學術交流委員會的委員與IEEE EDS（電子器件分會）Nanotechnology（納米技術）委員會成員。

余志平近年來的研究項目主要集中在納電子器件 （包括石墨烯器件與碳基變阻存儲器）、CMOS 射頻電路建模與設計、半導體器件物理（包括量子輸運與能帶計算）等。已承擔與正在承擔的國家科研項目包括國家自然科學基金的重點項目與國際合作重點項目，973、863項目，國家重大科技專項（01-03）項目。參與的國家“863”計劃“0.09 微米CMOS 集成電路大生產工藝與可制造性”獲2008年國家科技進步二等獎。他的研究工作有廣泛的國際合作，包括Intel，臺積電（TSMC），Cadence 等國際知名集成電路公司的項目資助。

余志平在清華與美國斯坦福大學都培養了不少博士、碩士生。他指導過與正在指導的清華本科生也在研究工作中做出了一些具有國際水平的成果。

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