北方工業大學法學導師：閆江 正文

閆江 ?教授，博導，國家特聘專家。
? 現任北方工業大學高精尖創新研究院院長。
在微電子領域有超過30多年的工作經歷。
先后任職于中科院微電子研究所，美國德克薩斯大學微電子中心和英飛凌（Infineon）公司美國研發部。
曾參與和負責了與IBM, 韓國三星, Globalfoundries, 日本東芝, STMicroelectronics和臺灣聯華電子（UMC）等公司的聯合研發項目。
2009年回國后任職于中國科學院微電子研究所，主持參與了多項重要科研及產業化項目，包括二項國家重大科技專項課題：“22納米關鍵工藝技術先導研究與平臺建設”和“16/14nm基礎技術研究”。
? 曾獲得中國科學院2014年度杰出科技成就獎和北京市2016年度科學技術獎一等獎。
主持參與了多項國內外重要科研項目，承擔了2項國家重大科技專項課題，獲得40余項美國授權發明專利，50余項中國授權發明專利，發表學術論文超過60篇。
主持若干項國家和北京市自然科學基金面上課題。
個人簡歷 1978.10 - 1983.7? 中國科學技術大學? 半導體 學士1983.9 - 1986.11? 中國科學院半導體研究所? 電子工程 碩士1995.1 - 1999.4? 美國德克薩斯大學奧斯汀分校 電子工程 博士 教授課程 人工智能技術導論? 學科前沿? 半導體工藝技術 主要研究領域和方向 ? ?人工智能芯片技術及其應用 近五年的榮譽成果 1、 Nan Zhang , Jing Zhang，J. Yan et al.? O2 plasma treated biosensor for enhancing detection sensitivity of sulfadiazine in a high-к HfO2 coated silicon nanowire array. , Sensors & Actuators:B. Chemical 306(2020) 127464 SCI 一區2、 Zhiyuan Xu, Qingyi Meng, Qiang Cao, Yushi Xiao, Huan Liu, Gang Han, Shuhua Wei, Jiang Yan, and Lidong Wu*.Selective Sensing of Copper Ions by MesoporousPorphyrinic Metal-Organic Frameworks Nanoovals. Anal. Chem., Vol. 92, No. 2, 2201-2206, 2020.SCI 三區3、Qi Qi, Chunhui Liu, Lintao Liu, Qingyi Meng, Shuhua Wei*, Anjie Ming*, Jing Zhang, Yanrong Wang, Lidong Wu, Xiaoli Zhu, Feng Wei and Jiang Yan, Fabrication, Characterization, and Application of Large-Scale Uniformly Hybrid Nanoparticle-Enhanced Raman Spectroscopy Substrates, Micromachines 10, 282, 2019. (SCI 三區? IF:2.426)4、Q. Zhang, H. Tu*, H. Yin*, J. Yan et al. “Influence of the hard masks profiles on formation of nanometer Si scalloped fins arrays” [J]. Microelectronic Engineering, pp.48-54, 198 (8), 2018, doi: https://doi.org/10.1016/j.mee.2018.07.001. SCI 三區5、Q. Zhang, H. Tu*, Yin H*, J. Yan* et al. Si Nanowire Biosensors Using a FinFET Fabrication Process for Real Time Monitoring Cellular Ion Actitivies [C], 2018 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM), IEEE, 2018: 29.6. 1-29.6. 4. 頂級會議論文6、Q. Zhang, H. Tu, S. Gu, J. Yan et al. Influence of Rapid ThermalAnnealing on Ge-Si Interdiffusion in Epitaxial Multilayer Ge0. 3Si0. 7/Si Superlattices with Various GeSi Thicknesses [J]. ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2018, 7(11): P671-P676. SCI 三區7、Yingjie Wang, Peng He, Jing Zhang , Jiang Yan, Dmitry V. Lopaev,Xin-Ping Qu, Mikhail R. Baklanov, A non-destructive, fast evaluation of PVD diffusion barriers deposited on porous low-k dielectrics, Microelectronic Engineering 198,22–28 (2018) SCI 四區?8、陳曦，張靜, 閆江等. Si離子輻照下Al2O3柵介質的漏電機制，半導體技術，2019年07期?9、朱軒民，張靜，閆江等. NH3 等離子體鈍化對 Al2O3 /SiGe 界面的影響，半導體技術，第44卷，第6期 近年來主要科研項目 主持 國家自然科學基金面上項目 61874002 集成電路制造中關鍵圖形工藝的模型研究主持 北京市自然科學基金面上項目 4182021 圖形化工藝仿真模型的研究主持 北京市科委項目 高端芯片設計與制造關鍵光刻技術研究與應用? 近年來出版的主要教材與專著 在研主要項目 國家自然科學基金面上項目：集成電路制造中關鍵圖形工藝的模型研究北京市自然科學基金面上項目：圖形化工藝仿真模型的研究北京市科委項目：高端芯片設計與制造關鍵光刻技術研究與應用橫向項目：BD-C5薄膜的開發? 國內外學術活動
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